北方华创微电子请求红外测温仪的校温办法、工艺腔室及半导体工艺设备专利进步终究校温的精确性

时间：2025-12-08 08:00:12     来源： 火狐娱乐app

                                                                                            

  国家知识产权局信息数据显现，北京北方华创微电子配备有限公司请求一项名为“红外测温仪的校温办法、工艺腔室及半导体工艺设备”的专利，公开号CN 121048768 A，请求日期为2024年5月。

  专利摘要显现，本发明供给红外测温仪的校温办法、工艺腔室及半导体工艺设备，校温办法有：在加热设备的加热功率在预设规模内突变的过程中，获取榜首红外测温设备检测到的榜首温度、第二测温设备检测到的第二温度以及热偶设备检测到的第三温度；依据加热功率、榜首温度、第二温度以及第三温度，确认榜首红外测温设备在不同榜首温度时对应的温度补偿值；依据榜首红外测温设备在不同榜首温度时对应的温度补偿值对榜首红外测温设备进行温度补偿。本发明的校温办法，与现存技能比较在树立温度补偿联系时不再单单依托热偶设备收集的数据，而将工艺腔室的温度也纳入了考量规模，从而时出的补偿值愈加精确，从而进步终究校温的精确性。

  天眼查资料显现，北京北方华创微电子配备有限公司，成立于2001年，坐落北京市，是一家以从事电气机械和器件制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币。经过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子配备有限公司共对外出资了7家企业，参加招投标项目1277次，产业线条，此外企业还具有行政许可340个。

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